离子束刻蚀
离子束刻蚀—离子束刻蚀
相关产品:
Ionfab 300Plus
工艺类型
IBE--惰性气体离子束刻蚀
RIBE--反应离子束刻蚀
CAIBE--化学辅助离子束刻蚀
硬件
• 可选择15厘米和35厘米射频离子源
• 高电流中和器
• 最大到8英寸的可旋转和可倾斜的衬底压盘，含加热器和冷却器
• 可选择单片真空进样室和箱到箱多片手柄
• 模块化设计，易于配置成一个多功能工具组
• 随超净间可变的接口配置
• 用于结束点探测的二次离子质谱配件
重点应用
• GaAs光电子
• 微波集成电路
• InP激光器光学
• 薄膜磁头/磁随机存储器
• SAW(表面声波)器件
• 掩模制作
优点
• 优异的均匀性
• 最大的应用适应范围
• 工艺可重复性
• 低成本
牛津仪器的离子束刻蚀工具
关于牛津
牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子 设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公 司或办事处。
具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站：www.oichina.cn www.oxinst.com
牛津仪器(上海)有限公司 电话: (021) 64908280 传真: (021) 64904042
牛津仪器(上海)有限公司上海办事处 电话: (021) 60732929 传真: (021) 60732949
牛津仪器(上海)有限公司北京办事处 电话: (010) 65188160 传真: (010) 65188155
牛津仪器(上海)有限公司广州办事处 电话: (020) 83649990 传真: (020) 83649996
牛津仪器(上海)有限公司成都办事处 电话: (028) 86703596 传真: (028) 86703595
牛津仪器
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